• 光刻巨人.ASML崛起之路

    (荷) 瑞尼·雷吉梅克著
  • 出版社/出版年:人民邮电出版社/2020.10
  • ISBN/定价：978-7-115-54518-3/CNY118.00
  • 载体形态项：xvii, 478页 23cm
  • 个人责任者：雷吉梅克
  • 学科主题：光刻设备
  • 中图法分类号：F456.366